installation à deux électrodes pour pulvérisation ionique
- installation à deux électrodes pour pulvérisation ionique
- dvielektrodis jonų dulkintuvas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. diode ion sputterer
vok. Diodensputteranlage, f
rus. двухэлектродная установка ионного распыления, f
pranc. installation à deux électrodes pour pulvérisation ionique, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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